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產(chǎn)品型號：AL120-12
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應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,綜合

AL120-12晶圓搬送機對應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學的設(shè)計確保了操作人員在搬送晶圓時（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和安全。

人機工程學設(shè)計，操作方便

  • 可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡便性。

  • 分別對應(yīng)FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機型。

堅固、可靠和安全傳送

  • 延續(xù)了上一代機型的堅固性、可靠性和安全性，能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。

  • 薄片，Warped晶圓皆能安全搬送。

  • 宏觀觀察位置的優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。

專用宏觀照明裝置

 

為異物、傷痕、膜斑、散焦的發(fā)現(xiàn)提供了很好照明方式 
高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合，實現(xiàn)了300 mm晶圓的冷光源全面照射。

AL120-12顯微鏡

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